Электронная библиотека: Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/24316

Заглавие:	Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники
Автор(ы):	Огер Виктор Павлович
Ответственные лица и организации:	научный руководитель Карпович С. Е. Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Ключевые слова:	МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА СБОРОЧНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ КООРДИНАТ СИСТЕМЫ ТОЧНОСТЬ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Дата публикации:	2007
Описание:	диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук 05.27.06 защищена 20.09.07 утверждена 28.11.07
Индекс УДК:	621.382.049.771.14(043.3)(476)
Номенклатура специальности:	05.27.06
Находится в коллекции:	Диссертации

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		120 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь