DSpace  
 

Расширенный поиск
Главная страница
 
Просмотр
Разделы
 и коллекции
По дате публикации
По автору
По заглавию
По ключевым словам
По номенклатуре специальностей
По индексу УДК
 
 
Сотрудникам НББ:
Подписка
Мой кабинет
авторизированные пользователи
Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/24638

Заглавие: Формирование и свойства водородсодержащих доноров в субмикронных слоях кремния
Автор(ы): Цвырко Виктор Геннадьевич
Ответственные лица и организации: научный руководитель Покотило Ю. М.
Белорусский государственный университет
Ключевые слова: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ
ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ВОДОРОДНЫЕ ИОНЫ
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
Дата публикации: 2010
Описание: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
01.04.10
защищена 01.10.10
утверждена 24.11.10
Индекс УДК: 621.315.592.3:661.681:621.793.18(043.3)
669.782.046.516.2-15(043.3)
Номенклатура специальности: 01.04.10
Находится в коллекции:Диссертации

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html120 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 
Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь