|
Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/25537
|
| Заглавие: | Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники |
| Автор(ы): | Дайняк Игорь Викторович |
| Ответственные лица и организации: | научный руководитель Карпович С. Е.
Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
| Ключевые слова: | МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СБОРКА
МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
КООРДИНАТ СИСТЕМЫ
ПРЕЦИЗИОННЫЕ СИСТЕМЫ |
| Дата публикации: | 2006 |
| Описание: | диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
05.27.06
защищена 07.12.06
утверждена 14.02.07 |
| Индекс УДК: | 621.382.049.77-027.3:621.717-52(043.3) |
| Номенклатура специальности: | 05.27.06 |
| Находится в коллекции: | Диссертации
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|
