DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/25617

Заглавие: Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния
Автор(ы): Королик Ольга Васильевна
Ответственные лица и организации: научный руководитель Дроздов Н. А.
Белорусский государственный университет
Ключевые слова: КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ
ЧОХРАЛЬСКОГО МЕТОД
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ
СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА
Дата публикации: 2010
Описание: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
01.04.10
защищена 18.06.10
утверждена 15.09.10
Индекс УДК: 621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3)
621.382.049.774-027.3:621.793.18(043.3)
Номенклатура специальности: 01.04.10
Находится в коллекции:Диссертации

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html120 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь