Электронная библиотека: Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/25682

Заглавие:	Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники
Автор(ы):	Турцевич Аркадий Степанович
Ответственные лица и организации:	научный руководитель Емельянов Виктор Андреевич УП "Завод транзистор", Научно-производственное объединение "Интеграл"
Ключевые слова:	МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ КРЕМНИЯ ЛЕГКОПЛАВКОЕ СТЕКЛО ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ВОЛЬФРАМ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ СЕЛЕКТИВНОЕ ОКИСЛЕНИЕ МИКРОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Дата публикации:	2009
Описание:	диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук 05.27.01 защищена 23.04.10 утверждена 22.12.10
Индекс УДК:	621.382.049.772.1'14:621.793.3(043.3)
Номенклатура специальности:	05.27.01
Находится в коллекции:	Диссертации

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		120 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь