Электронная библиотека: Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/25938

Заглавие:	Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров
Автор(ы):	Плебанович Владимир Иванович
Ответственные лица и организации:	научный руководитель Емельянов В. А. Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Научно-производственное объединение "Интеграл"
Ключевые слова:	МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЙ ПЕРЕХОД ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ АННИГИЛЯЦИЯ
Дата публикации:	2009
Описание:	диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук 05.27.01 защищена 24.06.10 утверждена 13.10.10
Индекс УДК:	621.382.049.77.019(043.3) 621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3)
Находится в коллекции:	Диссертации

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		120 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь