Электронная библиотека: Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/26036

Заглавие:	Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники
Автор(ы):	Аваков Сергей Мирзоевич
Ответственные лица и организации:	научный консультант С. Е. Карпович Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Ключевые слова:	МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ТОПОЛОГИЯ СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ФОТОШАБЛОНЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
Дата публикации:	2007
Описание:	диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук 05.27.06 защищена 03.04.08 утверждена 25.06.08
Индекс УДК:	621.382.049.771.14/.16-027.3:658.562(043.3)
Номенклатура специальности:	05.27.06
Находится в коллекции:	Диссертации

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		120 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь