DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/26921

Заглавие: Исследование массопереноса в тонких металлических пленках и повышение долговечности межсоединений полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Автор(ы): Белицкий Владимир Фомич
Ответственные лица и организации: Акад. наук Белорус. ССР, Ин-т электроники
Ключевые слова: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ДОЛГОВЕЧНОСТЬ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
МЕТАЛІЧНЫЯ ПЛЁНКІ
МАСААБМЕН
ДАЎГАВЕЧНАСЦЬ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
МАССООБМЕН
Дата публикации: 1982
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.12.18
19.03.1982
Библиогр.: с. 20-23 (25 назв.)
Для служ. пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.772.1(043.3)
Номенклатура специальности: 05.12.18
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь