DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/27051

Заглавие: Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров
Автор(ы): Плебанович Владимир Иванович
Ответственные лица и организации: Учреждение образования "Белорусский государственный университет"
Ключевые слова: МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЙ ПЕРЕХОД
ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ
ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
АННИГИЛЯЦИЯ
Дата публикации: 2009
Описание: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
05.27.01
Резюме на русском, белорусском и английском языках
Индекс УДК: 621.382.049.77.019(043.3)
621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3)
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html132 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь