DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/27188

Заглавие: Разработка теоретических и технологических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств
Автор(ы): Русецкий Анатолий Максимович
Ключевые слова: ЭЛЕКТРОННОЕ МАШИНОСТРОЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ЭЛЕКТРОННАЕ МАШЫНАБУДАВАННЕ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТЭХНАЛАГІЧНАЕ АБСТАЛЯВАННЕ
СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
СУБМІКРОННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
Дата публикации: 1999
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
05.27.07
Библиогр.: c. 30-33 (42 назв.) Для служеб. пользования
Индекс УДК: 621.382.049.77.002.5(476)(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.07
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь