Электронная библиотека: Исследование и разработка процесса формирования анодных оксидных пленок кремния и алюминия и их применение в интегральных микросхемах

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/27490

Заглавие:	Исследование и разработка процесса формирования анодных оксидных пленок кремния и алюминия и их применение в интегральных микросхемах
Автор(ы):	Баранов Игорь Ливерьевич
Ответственные лица и организации:	Ин-т электроники Акад. наук Белорус. ССР
Ключевые слова:	МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ ПЛЕНКИ КРЕМНИЙ АЛЮМИНИЙ ОКСИСОЕДИНЕНИЯ МІКРАЭЛЕКТРОНІКА ДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ ПЛЁНКІ КРЭМНІЙ АЛЮМІНІЙ АКСІЗЛУЧЭННІ ЭЛЕКТРАЛІТЫЧНАЕ АСАДЖЭННЕ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
Дата публикации:	1978
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.12.18 Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.) Для служ. пользования.
Индекс УДК:	621.382.049.774.3.002:621.357(043.3) 621.315.61-416.002(043.3)
Номенклатура специальности:	05.12.18
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		117 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь