Электронная библиотека: Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/27984

Заглавие:	Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда
Автор(ы):	Грунский Дмитрий Игоревич
Ответственные лица и организации:	Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Ключевые слова:	ФИЗИКА ПЛАЗМЫ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ КРЕМНИЙ КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ ФОРМИРОВАНИЕ ФІЗІКА ПЛАЗМЫ ТОНКІЯ ПЛЁНКІ КРЭМНІЙ ФАРМІРАВАННЕ КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
Дата публикации:	2001
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.27.06 Рез. парал.: белорус., рус., англ Библиогр.: с. 17-18 (16 назв.).
Индекс УДК:	539.23(043.3) 533.9(043.3)
Номенклатура специальности:	05.27.06
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		116 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь