Электронная библиотека: Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/28013

Заглавие:	Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении
Автор(ы):	Нелаев Владислав Викторович
Ответственные лица и организации:	Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Ключевые слова:	КРИСТАЛЛОГРАФИЯ КРИСТАЛЛОФИЗИКА ПРИМЕСИ ДИФФУЗИЯ МОЛЕКУЛЯРНАЯ ФИЗИКА МОЛЕКУЛЯРНАЯ СТРУКТУРА МИКРОЭЛЕКТРОНИКА КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ КРЫШТАЛЯГРАФІЯ КРЫШТАЛЯФІЗІКА ДЭФЕКТЫ ДЫФУЗІЯ МАЛЕКУЛЯРНАЯ СТРУКТУРА МІКРАЭЛЕКТРОНІКА ПАЎПРАВАДНІКІ КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ ДЕФЕКТЫ ПОЛУПРОВОДНИКИ ПРЫМЕСІ МАЛЕКУЛЯРНАЯ ФІЗІКА
Дата публикации:	2001
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук 05.27.01 Рез. парал.: рус., белорус., англ Библиогр.: c. 25-35 (95 назв.).
Индекс УДК:	548.4(043.3) 621.382.049.77.002(043.3)
Номенклатура специальности:	05.27.01
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		116 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь