DSpace  
 

Расширенный поиск
Главная страница
 
Просмотр
Разделы
 и коллекции
По дате публикации
По автору
По заглавию
По ключевым словам
По номенклатуре специальностей
По индексу УДК
 
 
Сотрудникам НББ:
Подписка
Мой кабинет
авторизированные пользователи
Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/28322

Заглавие: Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок
Автор(ы): Прудник Александр Михайлович
Ответственные лица и организации: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники"
Ключевые слова: ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ
ПОДЛОЖКИ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ПЯЧАТНЫЯ ПЛАТЫ
ПАДЛОЖКІ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
ЛИТОГРАФИЯ (электроника)
Дата публикации: 2002
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.27.01
Рез. парал.: рус., белорус., англ
Библиогр.: c. 17-18 (17 назв.).
Индекс УДК: 621.382.049.75:743(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.01
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 
Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь