DSpace  
 

Расширенный поиск
Главная страница
 
Просмотр
Разделы
 и коллекции
По дате публикации
По автору
По заглавию
По ключевым словам
По номенклатуре специальностей
По индексу УДК
 
 
Сотрудникам НББ:
Подписка
Мой кабинет
авторизированные пользователи
Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/28697

Заглавие: Структуры металл-диоксид кремния - полупроводник для интегральных микросхем
Автор(ы): Хатько Вячеслав Владимирович
Ответственные лица и организации: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники"
Ключевые слова: ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
КРЭМНІЮ ДЫАКСІД
ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ
МОП-СТРУКТУРЫ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КРЕМНИЯ ДИОКСИД
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
МВП-СТРУКТУРЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КМОП-ИС
КМОП-ІС
Дата публикации: 2001
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук
05.27.01
Рез. парал.: рус., белорус., англ
Библиогр.: с. 30-36 (73 назв.)
Для служ. пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.771.14.002(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.01
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 
Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь