DSpace  
 

Расширенный поиск
Главная страница
 
Просмотр
Разделы
 и коллекции
По дате публикации
По автору
По заглавию
По ключевым словам
По номенклатуре специальностей
По индексу УДК
 
 
Сотрудникам НББ:
Подписка
Мой кабинет
авторизированные пользователи
Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/28912

Заглавие: Процессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники
Автор(ы): Бордусов Сергей Валентинович
Ответственные лица и организации: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники"
Ключевые слова: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ЗВЫШВЫСОКІЯ ЧАСТОТЫ
ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
ПЛАЗМЕННАЯ АПРАЦОЎКА
Дата публикации: 2003
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
05.27.06
11.12.2003
Рез. парал.: белорус., рус., англ
Библиогр.: с. 31-38 (71 назв.)
Для служ. пользования
Индекс УДК: 621.382.049.77.002(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.06
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 
Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь