DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/29335

Заглавие: Формирование тонкопленочных систем металлизации в условиях нестационарного электролиза
Автор(ы): Хмыль Александр Александрович
Ответственные лица и организации: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники"
Ключевые слова: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
ЭЛЕКТРОЛИЗ
ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
МЕТАЛІЗАЦЫЯ
ЭЛЕКТРОЛІЗ
ЭЛЕКТРАЛІТЫЧНАЕ АСАДЖЭННЕ
ЭЛЕКТРАХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
Дата публикации: 2001
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
05.27.06
Рез. парал.: белорус., рус.. англ
Библиогр.: c. 33-43 (120 назв.)
Для служ. пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.772.1.002:621.357(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.06
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь