Электронная библиотека: Оптико-электронные методы и приборы прецизионного контроля геометрических и оптических параметров технических микрообъектов

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/29875

Заглавие:	Оптико-электронные методы и приборы прецизионного контроля геометрических и оптических параметров технических микрообъектов
Автор(ы):	Ильин Виктор Николаевич
Ответственные лица и организации:	Гос. науч. учреждение "Ин-т электроники Нац. акад. наук Беларуси"
Ключевые слова:	ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ ДИФРАКЦИЯ ВОЛН ОПТАЭЛЕКТРОННЫЯ ПРЫБОРЫ ІНТЭРФЕРЭНЦЫЯ ДЫФРАКЦЫЯ ХВАЛЬ ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ГЕАМЕТРЫЧНЫЯ ПАРАМЕТРЫ Прецизионный контроль Технические микрообъекты Прэцызійны кантроль Тэхнічныя мікрааб'екты
Дата публикации:	2003
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук 05.11.07 17.10.2003 Рез. парал.: белорус., рус., англ Библиогр.: с. 32-42 (105 назв.) Для служ. пользования.
Индекс УДК:	681.786.23/.24(043.3)
Номенклатура специальности:	05.11.07
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		116 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь