DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/31077

Заглавие: Исследование методов и разработка специального технологического оборудования для формирования структур БИС на пластинах больших диаметров
Автор(ы): Мальто Владимир Иванович
Ответственные лица и организации: Ин-т электроники АН БССР
Ключевые слова: БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТЭХНАЛАГІЧНАЕ АБСТАЛЯВАННЕ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
Дата публикации: 1981
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.12.18
00.00.1981
Библиогр.: с. 21-22
Для служ. пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.771.14.002(043.3)
Номенклатура специальности: 05.12.18
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь