DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/31108

Заглавие: Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур
Автор(ы): Короткевич Александр Васильевич
Ключевые слова: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
АЛЮМИНИЙ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
НИЗКИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ ЭЛЕМЕНТЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
АЛЮМІНІЙ
ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ
НІЗКІЯ ТЭМПЕРАТУРЫ
Дата публикации: 2000
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.27.01
Библиогр.: с. 17-21 (40 назв.)
Индекс УДК: 621.382.049.772.1(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.01
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь