Электронная библиотека: Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/31230

Заглавие:	Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях
Автор(ы):	Завадский Сергей Михайлович
Ответственные лица и организации:	Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники"
Ключевые слова:	МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ПОДЛОЖКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ МІКРАЭЛЕКТРОНІКА ПАДЛОЖКІ ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ ТОНКІЯ ПЛЁНКІ НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Дата публикации:	2002
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.27.06 Библиогр.: с. 15-19 (15 назв.).
Индекс УДК:	621.382.049.772.1.002:621.793(043.3)
Номенклатура специальности:	05.27.06
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		116 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь