Электронная библиотека: Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/31530

Заглавие:	Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем
Автор(ы):	Пономарь Владимир Николаевич
Ключевые слова:	ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
Дата публикации:	1998
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 01.04.10 Библиогр.: c. 11-13 (18 назв.)
Индекс УДК:	621.382.049.772.002:621.785(043.3)
Номенклатура специальности:	01.04.10
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		116 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь