Электронная библиотека: Плазмохимическое травление тонких пленок алюминия и его сплава с кремнием при создании металлизации интегральных микросхем повышенной степени интеграции

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/31568

Заглавие:	Плазмохимическое травление тонких пленок алюминия и его сплава с кремнием при создании металлизации интегральных микросхем повышенной степени интеграции
Автор(ы):	Мельянец Геннадий Иванович
Ответственные лица и организации:	Ин-т электроники АН БССР
Ключевые слова:	ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АЛЮМИНИЙ ТРАВЛЕНИЕ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ АЛЮМИНИЕВО-КРЕМНИЕВЫЕ СПЛАВЫ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ТОНКІЯ ПЛЁНКІ АЛЮМІНІЙ АЛЮМІНІЕВЫЯ СПЛАВЫ ТРАЎЛЕННЕ МЕТАЛІЗАЦЫЯ ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ АЛЮМІНІЕВА-КРЭМНІЕВЫЯ СПЛАВЫ АЛЮМИНИЕВЫЕ СПЛАВЫ
Дата публикации:	1983
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.12.18 Библиогр.: с. 23-24 (11 назв.).
Индекс УДК:	621.382.049.771.002:621.794.44(043.3)
Номенклатура специальности:	05.12.18
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		117 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь