Электронная библиотека: Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/31670

Заглавие:	Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии
Автор(ы):	Петлицкий Александр Николаевич
Ответственные лица и организации:	Белорус. гос. ун-т
Ключевые слова:	ПОЛУПРОВОДНИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ПОДЛОЖКИ ГЕТТЕРИРОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ДЕФЕКТЫ ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ПАЎПРАВАДНІКІ ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ ПАДЛОЖКІ ПРЫМЕСІ ГЕТЭРАВАННЕ ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА ДЭФЕКТЫ КРЭМНІЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ПРИМЕСИ КРЕМНИЙ
Дата публикации:	2004
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 01.04.10 13.02.2004 Рез. парал.: рус., белорус., англ Библиогр.: с. 16-18 (20 назв.).
Индекс УДК:	621.382.049.77.002.3:537.311.322(043.3) 548.4(043.3)
Номенклатура специальности:	01.04.10
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		117 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь