Электронная библиотека: Фазоструктурные переходы в слоях кремния при импульсной лазерной перекристаллизации

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/31910

Заглавие:	Фазоструктурные переходы в слоях кремния при импульсной лазерной перекристаллизации
Автор(ы):	Татур Геннадий Анатольевич
Ключевые слова:	МИКРОЭЛЕКТРОНИКА КРЕМНИЙ ПЛАВЛЕНИЕ МІКРАЭЛЕКТРОНІКА ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ КРЭМНІЙ ЛАЗЕРНАЕ ВЫПРАМЕНЬВАННЕ ПЛАЎЛЕННЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ Лазерный отжиг Лазерны адпал
Дата публикации:	1997
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 05.27.01 Библиогр.: c. 14-15 (17 назв.)
Индекс УДК:	621.382.049.772.1.002:621.373.826(043.3)
Номенклатура специальности:	05.27.01
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		116 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь