Электронная библиотека: Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/32015

Заглавие:	Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния
Автор(ы):	Королик Ольга Васильевна
Ответственные лица и организации:	Белорусский государственный университет
Ключевые слова:	КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ ЧОХРАЛЬСКОГО МЕТОД ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА
Дата публикации:	2010
Описание:	автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук 01.04.10 Резюме на английском, белорусском, русском языках
Индекс УДК:	621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3) 621.382.049.774-027.3:621.793.18(043.3)
Номенклатура специальности:	01.04.10
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		128 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь