Электронная библиотека: Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/32336

Заглавие:	Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники
Автор(ы):	Турцевич Аркадий Степанович
Ответственные лица и организации:	Государственное научное учреждение "Институт физики им. Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси"
Ключевые слова:	МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ КРЕМНИЯ ЛЕГКОПЛАВКОЕ СТЕКЛО ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ВОЛЬФРАМ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ СЕЛЕКТИВНОЕ ОКИСЛЕНИЕ МИКРОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Дата публикации:	2010
Описание:	автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук 05.27.01 Резюме на английском, русском, белорусском языках
Индекс УДК:	621.382.049.772.1'14:621.793.3(043.3)
Номенклатура специальности:	05.27.01
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		130 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь