Электронная библиотека: Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/33451

Заглавие:	Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок
Автор(ы):	Гранько Сергей Владимирович
Ответственные лица и организации:	Белорус. гос. ун-т
Ключевые слова:	КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ ІОННАЕ ЛЕГІРАВАННЕ ПАЛІМЕРНЫЯ ПЛЁНКІ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛИМЕРНЫЕ ПЛЕНКИ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
Дата публикации:	2004
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 01.04.07; 05.27.01 21.01.2005 Рез.: белорус., рус., англ Библиогр.: с. 19-20 (17 назв.).
Индекс УДК:	621.382.049.774.002(043.3)
Номенклатура специальности:	01.04.07 05.27.01
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		117 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь