DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/35357

Заглавие: Разработка технологии формирования контактных систем в полупроводниковых структурах с мелкозалегающими p-n-переходами на основе силицидов переходных металлов
Автор(ы): Бирюков Евгений Павлович
Ответственные лица и организации: Мин. радиотехн. ин-т
Ключевые слова: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
ПАЎПРАВАДНІКІ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
Дата публикации: 1984
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.12.18
06.12.1984
Библиогр.: с. 15-16 (15 назв.)
Для служ. пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.771.14.002.3:621.315.592(043.3)
Номенклатура специальности: 05.12.18
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь