Электронная библиотека: Исследование и разработка процессов ионно-плазменной обработки в технологии создания биполярных БИС

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/35488

Заглавие:	Исследование и разработка процессов ионно-плазменной обработки в технологии создания биполярных БИС
Автор(ы):	Гранько Владимир Ильич
Ответственные лица и организации:	Мин. радиотехн. ин-т
Ключевые слова:	ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Дата публикации:	1982
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.12.18 Библиогр.: с. 22-23 (14 назв.) Для служ. пользования.
Индекс УДК:	621.382.049.774.3'14.002(043.3)
Номенклатура специальности:	05.12.18
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		116 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь