DSpace  
 

Расширенный поиск
Главная страница
 
Просмотр
Разделы
 и коллекции
По дате публикации
По автору
По заглавию
По ключевым словам
По номенклатуре специальностей
По индексу УДК
 
 
Сотрудникам НББ:
Подписка
Мой кабинет
авторизированные пользователи
Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/36208

Заглавие: Исследование деформации полупроводниковых структур с диэлектрической изоляцией методом отраженного лазерного излучения
Автор(ы): Пилипенко Владимир Александрович
Ответственные лица и организации: Акад. наук Белорус. ССР, Ин-т электроники АН БССР
Ключевые слова: КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
ДЕФОРМАЦИЯ
КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ
КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
ДЭФАРМАЦЫЯ
КАНТРОЛЬ ЯКАСЦІ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ЛАЗЕРНАЕ ВЫПРАМЕНЬВАННЕ
ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ИЗОЛЯЦИЯ
ЭЛЕКТРЫЧНАЯ ІЗАЛЯЦЫЯ
Дата публикации: 1981
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.12.18
00.00.1981
Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.)
Для служ. пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.77(043.3)
Номенклатура специальности: 05.12.18
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 
Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь