Электронная библиотека: Разработка процесса и оптимизация технологии нанесения тонкопленочных упрочняющих кремнийсодержащих покрытий осаждением из дуговой плазмы

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/37643

Заглавие:	Разработка процесса и оптимизация технологии нанесения тонкопленочных упрочняющих кремнийсодержащих покрытий осаждением из дуговой плазмы
Автор(ы):	Голозубов Андрей Леонидович
Ключевые слова:	НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ УПРОЧНЯЮЩАЯ ОБРАБОТКА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ПЛАЗМА (физ.) ПЛАЗМА (фіз.) КРЭМНІЙ УМАЦОЎВАЮЧАЯ АПРАЦОЎКА ТОНКІЯ ПЛЁНКІ ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ АСАДЖЭННЕ ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА КРЕМНИЙ ОСАЖДЕНИЕ НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ
Дата публикации:	1999
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.03.06 Библиогр.: с. 17-18 (16 назв.)
Индекс УДК:	621.793.74(043.3)
Номенклатура специальности:	05.03.06
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		116 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь