DSpace  
 

Расширенный поиск
Главная страница
 
Просмотр
Разделы
 и коллекции
По дате публикации
По автору
По заглавию
По ключевым словам
По номенклатуре специальностей
По индексу УДК
 
 
Сотрудникам НББ:
Подписка
Мой кабинет
авторизированные пользователи
Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/37744

Заглавие: Формирование тонких пленок диоксида циркония методом анодирования,его свойства и применение в элементах микросхем
Автор(ы): Петров Николай Петрович
Ключевые слова: ЦЫРКОНІЙ
АДПАЛ
ХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ДИОКСИДЫ
ЦИРКОНИЙ
ОТЖИГ
ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
ДЫАКСІДЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Дата публикации: 1998
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.27.01
Библиогр.: c. 16-18 (19 назв.)
Индекс УДК: 621.382.049.772.1.002:621.794.61:621.357.8(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.01
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 
Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь