DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/38274

Заглавие: Разработка низкотемпературных процессов формирования плазменных анодных окислов арсенида галлия для изготовления ИМС
Автор(ы): Барасьев Сергей Владимирович
Ответственные лица и организации: Минский радиотехнический институт
Ключевые слова: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
ГАЛЛИЯ АРСЕНИД
ЭЛЕКТРОХИМИЯ
МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНАЛОГІЯ
АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ
ГАЛІЮ АРСЕНІД
ЭЛЕКТРАХІМІЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
Тонкаплёначныя тэхналогіі
Дата публикации: 1987
Описание: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
05.27.01
04.06.1987
Библиография: с. 17-19 (15 названий)
Для служебного пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.772.1-027.3:621.793.3(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.01
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html117 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь