Электронная библиотека: Разработка низкотемпературных процессов формирования плазменных анодных окислов арсенида галлия для изготовления ИМС

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/38274

Заглавие:	Разработка низкотемпературных процессов формирования плазменных анодных окислов арсенида галлия для изготовления ИМС
Автор(ы):	Барасьев Сергей Владимирович
Ответственные лица и организации:	Минский радиотехнический институт
Ключевые слова:	ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ ГАЛЛИЯ АРСЕНИД ЭЛЕКТРОХИМИЯ МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНАЛОГІЯ АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ ГАЛІЮ АРСЕНІД ЭЛЕКТРАХІМІЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ Тонкаплёначныя тэхналогіі
Дата публикации:	1987
Описание:	автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук 05.27.01 04.06.1987 Библиография: с. 17-19 (15 названий) Для служебного пользования.
Индекс УДК:	621.382.049.772.1-027.3:621.793.3(043.3)
Номенклатура специальности:	05.27.01
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		117 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь