Электронная библиотека: Разработка технологического процесса геттерирования дефектов в кремниевых пластинах имплантацией ионов вольфрама и свинца

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/38720

Заглавие:	Разработка технологического процесса геттерирования дефектов в кремниевых пластинах имплантацией ионов вольфрама и свинца
Автор(ы):	Хитько Валентин Иванович
Ответственные лица и организации:	Мин. радиотехн. ин-т
Ключевые слова:	ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ГЕТТЕРИРОВАНИЕ ВОЛЬФРАМ СВИНЕЦ ДЕФЕКТЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ ІОННАЕ ЛЕГІРАВАННЕ ГЕТЭРАВАННЕ ВАЛЬФРАМ СВІНЕЦ ДЭФЕКТЫ ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
Дата публикации:	1984
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.12.18 Библиогр.: с. 20-21 (7 назв.) Для служ. пользования.
Индекс УДК:	621.382.049.77.002:621.793(043.3)
Номенклатура специальности:	05.12.18
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		117 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь