Электронная библиотека: Исследование и разработка новых технологических методов получения фотошаблонов с пониженной дефектностью для больших интегральных схем

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/38786

Заглавие:	Исследование и разработка новых технологических методов получения фотошаблонов с пониженной дефектностью для больших интегральных схем
Автор(ы):	Погоцкий Эдуард Иосифович
Ответственные лица и организации:	Мин. радиотехн. ин-т
Ключевые слова:	БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ФОТОШАБЛОНЫ ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ ФОТАЛІТАГРАФІЯ ФОТАШАБЛОНЫ
Дата публикации:	1982
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.12.18 Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.) Для служ. пользования.
Индекс УДК:	621.382.049.771.14(043.3) 621.382.049.75:774(043.3)
Номенклатура специальности:	05.12.18
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		117 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь