DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/39038

Заглавие: Разработка технологического процесса создания алюминиевых подложек для тонкопленочных ГИМС
Автор(ы): Костюченко Сергей Александрович
Ответственные лица и организации: Мин. радиотехн. ин-т
Ключевые слова: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ПОДЛОЖКИ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ГІБРЫДНЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ
ПАДЛОЖКІ
ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Дата публикации: 2003
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.12.18
10.11.1983
Библиогр.: с. 21-23 (18 назв.)
Для служ. пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.75.002(043.3)
Номенклатура специальности: 05.12.18
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html116 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь