Электронная библиотека: Управление параметрами ионнолегированных слоев в условиях неизотермического отжига

	Главная страница

Просмотр
	Разделы и коллекции
	По дате публикации
	По автору
	По заглавию
	По ключевым словам
	По номенклатуре специальностей
	По индексу УДК




Сотрудникам НББ:
	Подписка
	Мой кабинет авторизированные пользователи
	Редактировать профиль

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/39326

Заглавие:	Управление параметрами ионнолегированных слоев в условиях неизотермического отжига
Автор(ы):	Науйокайтис Рамунас Юстинович
Ответственные лица и организации:	Мин. радиотехн. ин-т
Ключевые слова:	ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ ПОЛУПРОВОДНИКИ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ОТЖИГ АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ ПАЎПРАВАДНІКІ ІОННАЕ ЛЕГІРАВАННЕ ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ АДПАЛ АЎТАМАТЫЗАВАНЫЯ СІСТЭМЫ КІРАВАННЯ ТЭХНАЛАГІЧНЫМІ ПРАЦЭСАМІ ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
Дата публикации:	1981
Описание:	Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук 05.12.18 Библиогр.: с. 20-22 (13 назв.) Для служ. пользования.
Индекс УДК:	621.315.592.002:658.012.011.56(043.3)
Номенклатура специальности:	05.12.18
Находится в коллекции:	Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
default.html		117 B	HTML	Открыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010 Duraspace - Обратная связь