DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/39698

Заглавие: Система автоматического управления процессом электролитического анодирования в производстве гибридных интегральных схем
Автор(ы): Суходольский Александр Маркович
Ответственные лица и организации: Мин. радиотехн. ин-т
Ключевые слова: ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ
АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ГІБРЫДНЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ
АЎТАМАТЫЧНЫЯ СІСТЭМЫ КІРАВАННЯ
АЎТАМАТЫЧНАЕ КІРАВАННЕ
ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
АХОЎНЫЯ ПАКРЫЦЦІ
НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Дата публикации: 1981
Описание: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
05.13.07
Библиогр.: с. 15-17 (18 назв.)
Для служ. пользования.
Индекс УДК: 621.382.049.776.002:621.794.61:621.357.8(043.3)
Номенклатура специальности: 05.13.07
Находится в коллекции:Авторефераты диссертаций

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html117 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь