Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/41642
|
Заглавие: | Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN/Ti/Si в технологии интегральных микросхем |
Автор(ы): | Колос, Владимир Владимирович |
Дата публикации: | 2012 |
Описание: | Электронная копия размещена с разрешения автора |
Номенклатура специальности: | 01.04.07 |
Находится в коллекции: | Диссертации
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|