|
Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/41846
|
| Заглавие: | Информационно-параметрические методы совершенствования технологии производства субмикронных интегральных микросхем с применением тестовых структур |
| Автор(ы): | Емельянов, Антон Викторович |
| Дата публикации: | 2012 |
| Индекс УДК: | 621.382.2:546.28 |
| Номенклатура специальности: | 05.27.01 |
| Находится в коллекции: | Авторефераты диссертаций
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|
