Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/42019
|
Заглавие: | Информационно-параметрические методы совершенствования технологии производства субмикронных интегральных микросхем с применением тестовых структур |
Автор(ы): | Емельянов, Антон Викторович |
Дата публикации: | 2012 |
Описание: | Электронная копия размещена с разрешения автора |
Номенклатура специальности: | 05.21.05 |
Находится в коллекции: | Диссертации
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|