|
Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/49971
|
| Заглавие: | Кинетическое моделирование физических процессов в кремниевых субмикронных приборных структурах |
| Автор(ы): | Сперанский, Дмитрий Сергеевич |
| Дата публикации: | 2015 |
| Индекс УДК: | 621.3.049.771; 621.382.323 |
| Номенклатура специальности: | 01.04.04 |
| Находится в коллекции: | Авторефераты диссертаций
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|
