DSpace  
 

Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >

Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/53484

Заглавие: Фазоструктурные переходы в слоях кремния при импульсной лазерной перекристаллизации
Автор(ы): Татур Геннадий Анатольевич
Ключевые слова: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КРЕМНИЙ
ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
ПЛАВЛЕНИЕ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
КРЭМНІЙ
ЛАЗЕРНАЕ ВЫПРАМЕНЬВАННЕ
ПЛАЎЛЕННЕ
ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ
Дата публикации: 1997
Описание: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
05.27.01
Библиогр.: л. 119-128 (116 назв.)
Индекс УДК: 621.382.049.772.1.002:621.373.826(043.3)
Номенклатура специальности: 05.27.01
Находится в коллекции:Диссертации

Файлы документа:

Файл Описание РазмерФормат
default.html115 BHTMLОткрыть

Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.

 

Valid XHTML 1.0! Программное обеспечение DSpace Copyright © 2002-2010  Duraspace - Обратная связь