|
Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/55476
|
| Заглавие: | Водные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния |
| Автор(ы): | Косенок, Янина Александровна |
| Дата публикации: | 2019 |
| Индекс УДК: | 661.682 661.179 621.921 621.795.5 |
| Номенклатура специальности: | 05.16.08 |
| Находится в коллекции: | Авторефераты диссертаций
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|
