|
Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/56112
|
| Заглавие: | Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением |
| Автор(ы): | Вилья Пинеда Номар Альберто |
| Дата публикации: | 2020 |
| Индекс УДК: | 621.3.049.77: 621.793 |
| Номенклатура специальности: | 05.27.06 |
| Находится в коллекции: | Авторефераты диссертаций
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|
