|
Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Диссертации >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/58311
|
| Заглавие: | Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем |
| Автор(ы): | Соколов, Сергей Иванович |
| Дата публикации: | 2023 |
| Номенклатура специальности: | 05.27.06 |
| Находится в коллекции: | Диссертации
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|
