Электронная библиотека >
Диссертации и авторефераты диссертаций >
Авторефераты диссертаций >
Идентификатор документа - используйте, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
http://dep.nlb.by/jspui/handle/nlb/58323
|
Заглавие: | Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением |
Автор(ы): | Доан Тхе Хоанг |
Дата публикации: | 2023 |
Индекс УДК: | 621.3.049.77: 621.793 |
Номенклатура специальности: | 05.27.06 |
Находится в коллекции: | Авторефераты диссертаций
|
Все документы в электронной библиотеке защищены авторским правом.
|